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AWM2000系列气体流量传感器:
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AWM2000系列气体流量传感器:
传感器,HB100,SS-9261,SS-968
AWM2000系列气体流量传感器:
AWM2000系列为无源器件,包含两个惠斯顿电桥:一个为闭环的发热控制电路,一个为双传感电路.
。双向气流传感
。实际气体质量流量传感
。流速0~30sccm 到0~1000sccm
。能承受最大共膜压力25PSI
。需另加发热器控制及传感桥路供电电路
。工作温度:-25~+85℃
。供电电压:10VDC
。输出电压:最大50mV
AWM2000系列为无源器件,包含两个惠斯顿电桥:一个为闭环的发热控制电路,一个为双传感电路.
。双向气流传感
。实际气体质量流量传感
。流速0~30sccm 到0~1000sccm
。能承受最大共膜压力25PSI
。需另加发热器控制及传感桥路供电电路
。工作温度:-25~+85℃
。供电电压:10VDC
。输出电压:最大50mV